意法半导体请求体声波滤波器专利完成谐振器与气腔对齐以进步功能
国家知识产权局信息数据显现,意法半导体世界公司请求一项名为“体声波滤波器”的专利,揭露号CN121367476A,请求日期为2025年7月。
专利摘要显现,本揭露供给了一种体声波滤波器。示例体声波滤波器在半导体基板中与半导体基板上构成。该滤波器包含:埋入半导体基板中的气腔;以及与气腔对齐构成的至少一个谐振器,谐振器包含夹在底部电极和顶部电极之间的有源层。
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